? ? ? 羽杰科技研發(fā)的YJ-1080水溶性鐳射激光切割保護(hù)液,是一種用于晶圓激光切片工藝的高密度合成聚合物涂層,可以有效地覆蓋和保護(hù)晶圓片表面,可應(yīng)用于LED及半導(dǎo)體Low-k激光燒蝕加工。在高亮度LED加工中激光燒蝕加工及隱形切割方法逐漸成為主流制程,其中燒蝕加工兼顧了效率、合格率及成本上的平衡。
? ? ? ?與此同時(shí),集成電路特征尺寸不斷微縮,Cu-Low-k制程得到廣泛的應(yīng)用,帶Low-k膜(低介電常數(shù)膜)的晶圓需要采用激光開(kāi)槽方式加工。YJ-1080可有效抑制LED晶片及晶圓表面碎片沾附,同時(shí)具有優(yōu)異的冷卻效果,防止保護(hù)膜的熱固著,易于清洗??蓪?shí)現(xiàn)藍(lán)寶石、GaAs、Si及SiC等基底的切割保護(hù)。
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
●降低制程產(chǎn)生的過(guò)熱及燒灼
●減少顆粒附著晶圓
●晶圓表面產(chǎn)生保護(hù)膜
●無(wú)殘留的優(yōu)良切割制程
●百分百水溶性
●激光切割制程的最佳解決方案
運(yùn)用:
*?硅基晶圓激光切割;
*?GaAs、InP晶圓激光切割;
*?SiC、GaN激光切割;
使用方法:
先將羽杰晶圓激光保護(hù)液以噴涂或是涂布的方式,均勻的分布在晶圓(LED或半導(dǎo)體)等工件表面,再進(jìn)行激光加工作業(yè)。
注意事項(xiàng):未使用完的保護(hù)液須將桶蓋擰緊,避免水分、油質(zhì)、灰塵混入,影響加工品質(zhì)。
包裝規(guī)格:1加侖/桶,20L/桶
貯存條件:存放于陰涼透風(fēng)處,避免日曬雨淋。
本文標(biāo)題:鐳射激光切割保護(hù)液-羽杰科技
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